什么是干涉式編碼器
什么是干涉式編碼器?今天無(wú)錫華爾圣來(lái)講解下:
光學(xué)編碼器-干涉式
一個(gè)相干激光光源產(chǎn)生照射光盤上印刷的衍射光柵圖案的發(fā)散光束。 使用玻璃標(biāo)尺上的鉻蒸鍍或金屬帶標(biāo)尺上的激光寫入線創(chuàng)建光柵圖案。 20m的間距光柵衍射光,產(chǎn)生高對(duì)比度的明暗干涉圖案,直接返回探測(cè)器陣列。 本質(zhì)上是增量的,通常提供di二索引/標(biāo)記軌跡。
衍射光產(chǎn)生離散的Talbot平面干涉圖。 在以上例子中利用了RD塔爾博特平面。 當(dāng)標(biāo)尺和探測(cè)器的相對(duì)位置發(fā)生變化時(shí),衍射圖案在探測(cè)器陣列上平移,各探測(cè)器單元產(chǎn)生正弦變化。
干涉技術(shù)需要zui小限度的光學(xué)部件,可以實(shí)現(xiàn)小型的傳感器。 沒有插值時(shí),分辨率通常比透射型或反射型光學(xué)編碼器高多個(gè)級(jí)別。 正弦和余弦信號(hào)的保真度使得高插值成為可能,從而獲得高精度的納米分辨率。 考慮到設(shè)備的精度,對(duì)對(duì)準(zhǔn)公差的要求不太高。
這樣的編碼器需要清潔的環(huán)境。 采用相干性低的LED光源,將準(zhǔn)直光學(xué)元件和濾波光學(xué)元件組合,可以顯著提高耐污染性。 編碼器必然變大,通常具有更嚴(yán)格的對(duì)齊公差。
優(yōu)點(diǎn):高分辨率、準(zhǔn)確性、再現(xiàn)性緊湊; 正好的對(duì)準(zhǔn)公差
弱點(diǎn):環(huán)境的牢固性。
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